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本技术公开了一种电容薄膜真空规检测装置，其包括：底座的上表面固定连接有液压杆一，液压杆一的输出端固定连接有滑动架，滑动架的外表面固定连接有丝杆电机，丝杆电机的输出端螺纹连接有检测装置主体，检测装置主体的下表面与滑动架通过滑轨滑动连接，底座的...
该专利属于无锡互创芯微半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡互创芯微半导体科技有限公司授权不得商用。

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