下载使用基于机械放大器的惯性马达的精确定位系统的技术资料

文档序号:4591036

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本发明涉及使用基于机械放大器的惯性马达的精确定位系统,该机械放大器包括第一放大惯性子组件(20),该惯性子组件包括机械放大器(1)、压电激活构件(2)和配重件(3)。第二相对驱动子组件(21),包括夹具(15)和附接到第一惯性子组件(20)...
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