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一种用于评估具有微观尺寸的结构的系统，该系统包括：（i）电子光学器件，被配置为用X射线束照射该结构，该X射线束具有与该结构的化学元素的k边能量接近但不排他的X射线束能量；（ii）至少一个检测器，选自（i）用于收集通过照射该结构而生成的X射线...
该专利属于诺威量测设备公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺威量测设备公司授权不得商用。

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