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本技术涉及卷盘取放技术领域，目的是提供一种半导体静电卷盘取放机构，包括移动槽，所述移动槽外壁上设有移动装置，所述移动装置上设有限位装置，所述移动槽上面设有调节装置，所述调节装置之间设有取放组件，通过调节电机的转动，进而带动调节螺纹杆的转动，...
该专利属于江苏盛捷半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏盛捷半导体材料有限公司授权不得商用。

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