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本申请提供一种信号合成装置、射频电源设备及射频电源系统，信号合成装置包括输入端、移相单元、信号合成单元以及输出端，输入端用于输入基准信号。移相单元连接于输入端与信号合成单元之间，移相单元用于接收基准信号，并根据基准信号进行移相，以得到第一移...
该专利属于深圳市瀚强科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市瀚强科技股份有限公司授权不得商用。

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