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一种平面色散透镜、光谱共焦测量系统及形貌测量方法技术方案
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下载一种平面色散透镜、光谱共焦测量系统及形貌测量方法的技术资料
文档序号:45833412
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本发明属于光学测量技术领域,涉及一种平面色散透镜、光谱共焦测量系统及形貌测量方法;平面色散透镜包括衬底及平面透镜组,平面透镜组包括沿靠近衬底至远离衬底方向层叠设置的N层平面超振荡柱透镜;用于当宽波段连续光源自衬底远离平面透镜组一侧表面垂直入...
该专利属于江南大学所有,仅供学习研究参考,未经过江南大学授权不得商用。
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