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一种仿生毛发触觉传感器与应用制造技术
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文档序号:45820129
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本申请涉及传感器技术领域,特别涉及一种仿生毛发触觉传感器与应用,该传感器包括:基底和设置在基底上的仿生纤毛阵列;仿生纤毛阵列包括多根阵列排布的柔性仿生纤毛,柔性仿生纤毛的底部设有标记层;基底内集成光学系统,光学系统包括成像模块和微型棱镜,微...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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