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本发明属于光学测量工程相关技术领域，并公开了一种剪切干涉变焦三维形貌测量方法及测量系统。该方法包括下列步骤：获取在不同的样品高度下样品的衍射光干涉图像，获取当前样品高度下的入射光强分布图和入射光相位分布图；对各个样品高度下的入射光强分布图中...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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