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本申请提出一种硅单晶生长多工艺阶段非线性动态数据异常检测方法，属于集成电路硅单晶制备技术领域。包括：获取硅单晶生长过程中的历史数据集和监测数据集，并构建重构训练集和重构测试集；利用重构训练集对相关向量机模型进行迭代训练，得到相关向量机训练模...
该专利属于西安理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安理工大学授权不得商用。

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