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本发明涉及一种用于甲烷探测的芯片制备方法、甲烷探测器，其中，芯片制备方法包括：在衬底表面生长外延结构，得到外延片；在外延片上制作光栅掩膜，并在光栅掩膜腐蚀出光栅结构；对光栅结构进行光栅掩埋和欧姆接触层生长，得到光栅片；在光栅片上沉积掩膜，经...
该专利属于苏州鼎芯光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州鼎芯光电科技有限公司授权不得商用。

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