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本发明公开了一种乙硅烷混合气的溶解混合系统及控制方法，涉及气体混合制备技术领域，包含七大模块，储存模块以蜂窝状储气罐矩阵实现精准控压，罐壁采用纳米复合结构防腐；预混模块用双螺旋微通道与脉冲注入形成混沌流场；反应模块结合超临界与电磁共振加速反...
该专利属于合肥先微半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥先微半导体材料有限公司授权不得商用。

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