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本发明涉及毛细管微加工技术领域，提供一种毛细管尖端刻蚀系统及方法，刻蚀系统包括刻蚀舱、驱动装置和注液装置，刻蚀舱内具有刻蚀液，刻蚀舱具有用于毛细管第一端竖向布置的连接孔，毛细管的顶端高于刻蚀液的液面，毛细管上的刻蚀窗口低于刻蚀液的液面；驱动...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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