下载手动清洗阶梯溢流槽的技术资料

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一种手动清洗阶梯溢流槽,解决了现有阶梯溢流槽在取走硅片时硅片承载器上附着的水容易洒落地面,从而对环境造成污染的问题。它有一个箱体,在箱体内设有二个或三个呈阶梯状排列的清洗槽,在每个清洗槽内分别设有硅片垫板,在相邻两个清洗槽之间设有溢流槽,在...
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