下载具有盲孔叉指结构的玻璃基三维脉冲电容器及制备方法的技术资料

文档序号:45610487

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种具有盲孔叉指结构的玻璃基三维脉冲电容器及制备方法,属于电子器件技术领域。所述电容器采用硼硅玻璃/石英玻璃作为电介质基板,通过激光诱导结合湿法刻蚀技术在玻璃基板双面制备高深径比盲孔阵列,并在盲孔侧壁及玻璃表面沉积镍/钛黏附层及...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。