下载一种微小型双电层电容器高均匀性电极涂布复合装置的技术资料

文档序号:45610366

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本发明涉及电容器加工技术领域,公开了一种微小型双电层电容器高均匀性电极涂布复合装置,包括:机架外设外壳,底部设万向轮和升降脚撑,便于移动固定;转盘由伺服电机驱动,承载并旋转基材;涂布顶座通过转向臂安装于机架上的机座,实现水平多自由度调整;喷...
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