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本发明涉及一种热处理技术,具体是一种加热盘加工的热处理炉及其热处理工艺,包括热处理炉、设置在所述热处理炉腔体内的炉腔以及分别转动连接在所述热处理炉两端的第一炉门和第二炉门。本发明通过合理设计的防热量散失结构的结构组合及连接关系,在热处理炉的...该专利属于爱利彼半导体设备(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱利彼半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种热处理技术,具体是一种加热盘加工的热处理炉及其热处理工艺,包括热处理炉、设置在所述热处理炉腔体内的炉腔以及分别转动连接在所述热处理炉两端的第一炉门和第二炉门。本发明通过合理设计的防热量散失结构的结构组合及连接关系,在热处理炉的...