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本发明说明了一种由已形成电路的衬底支撑的ＭＥＭＳ器件。该ＭＥＭＳ器件包括至少一个和电路相连的电极和至少一个由电极控制的可动单元。该ＭＥＭＳ器件进一步包括一层电极和电路上方基于半导体材料的保形保护层。在一个优选实施例中，该ＭＥＭＳ器件为微镜，...
该专利属于石井房雄所有，仅供学习研究参考，未经过石井房雄授权不得商用。

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