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本发明公开了一种用于氪氙分离提纯的液氮供冷节能装置,包括液氮供应单元、低温氮气供应单元、第一精馏塔、液氮气化罐、低温氮气缓冲罐、第二精馏塔及尾气排放单元。液氮供应单元通过双路调节分别向第一精馏塔和液氮气化罐供液氮,其中第一精馏塔产生的低温氮...该专利属于岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于氪氙分离提纯的液氮供冷节能装置,包括液氮供应单元、低温氮气供应单元、第一精馏塔、液氮气化罐、低温氮气缓冲罐、第二精馏塔及尾气排放单元。液氮供应单元通过双路调节分别向第一精馏塔和液氮气化罐供液氮,其中第一精馏塔产生的低温氮...