下载具有至少一个端口的MEMS封装及其制造方法的技术资料

文档序号:4556535

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多个个体MEMS封装被形成为邻接单元,而且该多个个体MEMS封装中的每一个包括至少一个声学端口。确定用来分离多个单独的MEMS封装中的相邻封装的一个或多个分离边界。随后根据该一个或多个分离边界将多个个体MEMS封装中的每一个与其它分离,以提...
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