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本发明公开了一种具有自检功能的MEMS三轴加速度计，包括盖帽层、结构层和衬底层，结构层夹合封装在盖帽层和衬底层之间，结构层包括均具有自检功能的X轴加速度检测阵列、Z轴加速度检测阵列和Y轴加速度检测阵列，结构层中部开设有Z轴敏感结构释放槽，Z...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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