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本发明提供一种矩阵一体型靶材背板的防氧化清洗方法，所述清洗方法包括依次进行的有机溶剂清洗、水洗以及除水处理。该防氧化清洗方法可以大幅提高矩阵一体型靶材背板的防氧化性能，减少产品不良率。...
该专利属于合肥江丰电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥江丰电子材料有限公司授权不得商用。

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