温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明折射率驱动的氢化非晶硅和二氧化硅组合颜色滤波器涉及微纳光电集成光学器件技术领域；它由多个可调控结构单元在XOY平面周期排列构成，每个所述可调控结构单元由三层结构构成，由下到上依次为铝基底层、SiO<subgt;2</sub...
该专利属于黑龙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过黑龙江大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。