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本技术公开了一种新型高均匀度压膜机热压轮，包括压轮主轴、两个分别设于压轮主轴两端的连接段以及两个分别配合连接段与压轮主轴连接的连接法兰，压轮主轴的两端内侧设有直径与连接段上插接段直径对应的内嵌口，压轮主轴的外部套设有铝合金导热层，连接法兰与...
该专利属于苏州建高远微电子设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州建高远微电子设备科技有限公司授权不得商用。

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