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本发明提供一种操作容易且作业时间显著降低，并且能够不使膜破损而无间隙地覆盖坩埚的内表面的碳质坩埚的保护方法以及单晶拉制装置。所述碳质坩埚的保护方法将由膨胀石墨材料构成的保护膜夹设在石英坩埚和载置该石英坩埚的碳质坩埚之间，所述保护膜在所述坩埚...
该专利属于东洋炭素株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东洋炭素株式会社授权不得商用。

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