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一种宽带太赫兹贝塞尔光束计算层析检测装置及分析方法制造方法及图纸
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下载一种宽带太赫兹贝塞尔光束计算层析检测装置及分析方法的技术资料
文档序号:45424139
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本发明公开了一种宽带太赫兹贝塞尔光束计算层析检测装置及分析方法,包括飞秒激光器、第一分束器、第二分束器、时间延迟线、光电导发射天线、第一聚焦透镜、第一轴棱锥、工件安装调整座、第二轴棱锥、第二聚焦透镜、光电导接收天线、反射镜、偏置电压、锁相放...
该专利属于长春理工大学中山研究院所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学中山研究院授权不得商用。
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