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基于高速线扫描的多维度拉曼光谱原位分析系统及方法技术方案
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下载基于高速线扫描的多维度拉曼光谱原位分析系统及方法的技术资料
文档序号:45388634
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本发明涉及材料原位分析技术领域,具体为基于高速线扫描的多维度拉曼光谱原位分析系统及方法,包括激光焦点稳定单元、材料信号配准单元、关联分析单元、背景校正单元和材料特性解析单元。本发明通过采集纳米位移台的位置坐标计算位置漂移向量,结合卡尔曼滤波...
该专利属于南京迈塔光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京迈塔光电科技有限公司授权不得商用。
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