下载一种3D超结高耐压高散热的HEMT器件及其制备方法的技术资料

文档序号:45320131

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本发明提供一种3D超结高耐压高散热的HEMT器件及其制备方法,属于半导体器件领域。该HEMT器件包括由下至上依次层叠的衬底、电子沟道层、势垒层、空穴沟道层和p型半导体层。p型半导体层的上表面上设置有第一电极。p型半导体层和空穴沟道层中设置有...
该专利属于湖北九峰山实验室所有,仅供学习研究参考,未经过湖北九峰山实验室授权不得商用。

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