下载支撑基板、压力传感器及压力变送器的技术资料

文档序号:45117006

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本技术实施例提供一种支撑基板、压力传感器及压力变送器,用以解决现有压力传感器在使用过程中经常出现零点漂移的缺陷。该支撑基板采用热膨胀系数与所述单晶硅膜片相匹配的玻璃基板制造支撑基板本体,并在其中心部位开设高压引流通道;支撑基板能够通过键合工...
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