下载电压产生电路以及放电装置的技术资料

文档序号:45094579

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提供容易抑制来自放电电极的离子产生量降低的电压产生电路及放电装置。所述电压产生电路具备变压器和脉冲产生部。变压器具有初级绕组及次级绕组。脉冲产生部向初级绕组供给脉冲状的初级电流。脉冲产生部具有控制部。控制部将初级电流的脉冲宽度和周期的至少一...
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