下载一种双力控自动补偿方法及双力控研磨抛光一体设备的技术资料

文档序号:45094114

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本发明公开一种双力控自动补偿方法及双力控研磨抛光一体设备,其中,一种双力控自动补偿方法,本发明技术方案包括:通过衍射图谱获取工件表面晶向数据,经去噪、聚类分析生成晶向分布矩阵,划分晶向区域并关联其摩擦系数、硬度等力学特性;基于材料去除率分布...
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