下载硅锭外观缺陷检测系统的技术资料

文档序号:45087200

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本发明公开了硅锭外观缺陷检测系统,涉及缺陷检测技术领域,包括激光源模块、相机模块、图像处理模块、AI检测模块、控制与反馈模块,所述激光源模块使用200W的1300nm激光器作为照明并从侧面斜拍,所述相机模块采用两行Sensor的1K黑白线扫...
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