下载一种真空开关真空度的模拟标定系统及方法的技术资料

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本发明涉及一种真空开关真空度的模拟标定系统及方法,该系统包括激光诱导击穿光谱子系统、时延子系统、PC端、真空腔和真空开关靶材,激光诱导击穿光谱子系统:包括依次设置的激光器、光路调整模块、收集模块和光谱采集模块,激光器发射激光光束,经光路调整...
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