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本发明提供一种全自动碳氢清洗真空干燥装置及其使用方法，其中，一种全自动碳氢清洗真空干燥装置的使用方法，包括如下步骤：S1、将待清洗工件放入清洗腔室；S2、对清洗腔室进行抽第一次真空；S3、喷淋粗洗；S4、待到达液位后，进行超声波粗洗；S5、...该专利属于中国人民解放军空军工程大学航空机务士官学校所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军空军工程大学航空机务士官学校授权不得商用。