下载一种添加共引发剂的金纳米团簇光刻胶及方法的技术资料

文档序号:45051175

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本发明公开了一种添加共引发剂的金纳米团簇光刻胶及方法,属于微纳加工制造及光敏材料技术领域。该光刻胶包括以质量百分比含量计算的金纳米团簇0.01wt%‑30wt%、共引发剂1wt%‑10wt%、聚合活性单体95wt%‑70wt%以及有机溶剂0...
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