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本发明提供一种平整飞秒激光过饱和掺杂装置、方法及探测器的制备方法，属于光电技术领域，包括依次设置的飞秒激光器、电光快门、第二半波片、第二格兰泰勒棱镜、聚焦透镜和密闭加工腔，通过使用热蒸镀法在硅表面镀硫膜作掺杂剂，并使用电光快门精确控制加工脉...
该专利属于南开大学所有，仅供学习研究参考，未经过南开大学授权不得商用。

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