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本申请公开了一种AlScN薄膜衬底及其制备方法及应用。制备方法包括：在衬底表面生长Al薄膜层后，进行第一次热处理；然后，在Al薄膜层表面依次生长第一AlN层、第二AlN层和AlN岛结构层后，进行第二次热处理，AlN岛结构层的厚度为hx，5n...
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