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本发明属于集成光学领域，尤其涉及一种用于MIR波段的增强型波导集成光电探测器，该光电探测器中，波导结构层主要是由中心的悬浮波导和两侧的亚波长光栅构成，悬浮波导和亚波长光栅的下方通过刻蚀等方式去除了埋氧层，形成空气间隙；波导中的光通过倏逝场与...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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