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本发明公开了一种应用于受限空间的高精度涡旋光干涉位移传感器，包括边发射激光芯片、微纳螺旋相位板、道威棱镜、反射镜、盖板、光电探测器、封装基体等，采用光机电集成结构设计。所述发射激光芯片的两端有微纳螺旋相位板，左侧激光经过微纳螺旋相位板后成为...
该专利属于河南百合特种光学研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南百合特种光学研究院有限公司授权不得商用。

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