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基于振镜路径优化的无波纹度飞秒激光加工装置及方法制造方法及图纸
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下载基于振镜路径优化的无波纹度飞秒激光加工装置及方法的技术资料
文档序号:44968628
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本发明提供了一种基于振镜路径优化的无波纹度飞秒激光加工装置及方法,方法包括步骤S1:将专用夹具与旋转C轴连接;步骤S2:将加工工件装夹在专用夹具上;步骤S3:使飞秒激光器产生的激光束经过二维扫描振镜和场镜聚焦后辐照加工工件的表面;步骤S4:...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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