下载一种HfBN/Al2O3纳米多层复合刀具涂层及制备方法的技术资料

文档序号:44960025

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本发明公开了一种HfBN/Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;纳米多层刀具涂层及制备方法,属于材料表面处理技术领域。所述涂层阴极电弧耦合高功率脉冲磁控溅射沉积技术制备,所述涂层由内至...
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