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本发明属于位移传感技术领域，具体涉及一种基于光学杠杆放大效应的双层差分光栅位移传感器，激光扩束镜设置在激光器的光路方向上，上层光栅设置在激光扩束镜的光路方向上，下层光栅设置在上层光栅光路方向上，物镜设置在下层光栅的光路方向上，探测器设置在物...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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