下载一种提高真空稳定性的真空泵管路系统的技术资料

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本技术涉及真空泵技术领域,尤其涉及一种提高真空稳定性的真空泵管路系统;技术问题:传统的真空泵管路系统在对气流进行抽除时,气体内部的杂质可能导致管路污染,且气流可能会产生倒流影响装置的真空稳定性;技术方案:一种提高真空稳定性的真空泵管路系统,...
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