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本发明的一种产生193nm波段紫外激光的装置及方法，包括依次连接的近红外激光驱动单元1、非线性频率变换系统2和紫外激光产生系统3。近红外激光驱动单元为一台高功率皮秒激光器产生波长为1064nm的近红外激光。其通过分束镜后变为两部分，其中一部...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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