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本发明涉及MEMS制造的技术领域，它涉及一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法，将初始电压值设为固定电压值的50%‑70%，实时监测键合界面电阻值、界面温度场分布及局部应力变化；根据界面电阻下降速率与温度梯度进行电压层级响应：将模糊PID与...
该专利属于浙江芯动科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江芯动科技有限公司授权不得商用。

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