下载一种垂直腔面发射激光器的封装方法及装置的技术资料

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本发明公开一种垂直腔面发射激光器的封装方法及装置,属于半导体激光器芯片封装工艺领域。本发明在VCSEL芯片的顶部额外加装封装散热罩,采用封装散热罩、支撑连接块和底部热沉部件将VCSEL芯片上、下包围,本发明将器件顶部的散热模式由低效向空气进...
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