下载一种单片集成F-P腔光力学加速度传感器及传感方法的技术资料

文档序号:44908145

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本发明涉及集成腔光力学加速度传感器技术领域,特别涉及一种单片集成F‑P腔光力学加速度传感器及传感方法,包括:驱动电路驱动片上光源发出宽带光,宽带光经输入光栅进入硅基微环,经硅基微环滤波后输出窄带光;窄带光通过硅基耦合器耦合进入F‑P腔光力传...
该专利属于北京科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京科技大学授权不得商用。

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