下载沟槽超结MOSFET的终端结构及工艺方法的技术资料

文档序号:44847110

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种沟槽超结MOSFET的终端结构,提供一半导体衬底,所述的半导体衬底上包含外延层;在所述的外延层中,包含有所述的沟槽超结MOSFET的原胞结构以及终端结构;所述终端结构位于所述的原胞结构的外围,对所述的原胞结构进行隔离保护;所...
该专利属于上海澜芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海澜芯半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。