下载一种氧化镓基功率器件及其制备方法的技术资料

文档序号:44841337

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本发明公开一种氧化镓基功率器件及其制备方法,涉及半导体器件领域,器件包括从下至上依次层叠设置的阴极层、n型氧化镓衬底和n型氧化镓外延层;还包括:依次间隔设置在n型氧化镓外延层上并分别与其形成PN结的p型半导体层、第一场限环和第二场限环;位于...
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