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在其中要在基板１上形成栅电极４的薄膜晶体管的制造方法中，该方法具有以下步骤：在基板１上形成栅电极４；以覆盖所述栅电极４的方式形成金属氧化物层７；形成源电极６和漏电极５；以及在惰性气体中实施退火，以将金属氧化物层７的一部分变成沟道区域。...
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