下载一种石英坩埚小车装置的技术资料

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本技术公开了一种石英坩埚小车装置,包括包括平台框架、位于平台框架上的坩埚设备小车翻转组件以及通气管道组件,在石英坩埚加工过程中,通过第一电机组件与翻转长轴配合,驱动翻转长轴实现翻转动作;旋转电机输出端与齿轮相互啮合传动,带动旋转主轴转动,使...
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